友善列印
校園

陽明交大研發深紫外光超穎透鏡 解決光電領域挑戰

2025-04-16 發佈 曾鈺羢 臺北
深紫外影像(陽明交大提供)

深紫外影像(陽明交大提供)

 

深紫外光(Deep Ultraviolet, DUV)在半導體與生醫影像等領域的應用廣泛,但控制元件往往造價不斐而侷限應用,國立陽明交通大學電子研究所助理教授曾銘綸開發出一款超穎透鏡 (Deep ultraviolet Metalens) ,這款輕薄短小、高效能的深紫外光超穎透鏡,厚度僅有380奈米,遠小於人類的頭髮,但光學操控卻能達到深紫外光聚焦的極限,能作為深紫外光影像攝影裝置拍攝奈米結構,也能完成深紫外光超快雷射雕刻,成功駕馭深紫外光,解決光電及半導體領域的挑戰,這項突破也因此獲選為國際期刊《Nano Letters》的封面故事。

 

投入超穎透鏡研發工作多年的曾銘綸助理教授表示,深紫外光相關技術在基礎科學研究及工業場域都有重要應用價值,但相關的裝置相較於一般常見近紅外光或是可見光的裝置昂貴許多,例如應用於精密深紫外雷射加工的鏡頭,造價就要百萬台幣,而超穎介面是由人造奈米結構組成的光學元件,其中包含數以萬計精心設計的半導體奈米天線,透過調控幾何參數,可精確操控光的產生與聚焦。超穎透鏡則是針對光學應用特別設計的超穎介面,具備與傳統透鏡相似的功能,同時展現更豐富的特性。近年已廣泛應用於全彩影像技術、量子光學及生醫檢測等高精度儀器。

 

曾銘綸助理教授研發團隊期望未來能藉由超穎介面輕薄短小、功能多樣性且開發自由度高的特性實現更多關鍵應用,包括矽光子元件加工製造、生醫影像檢測及半導體檢測,也相當看好由半導體奈米結構組成的超穎介面未來量產與商業化的潛力。

相關新聞